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磨边机(MBJ)
◎ 概要
该设备是手动上下料,自动研磨(手动研磨),适用于半导体晶圆或砷化镓等材料边缘研磨工艺。
◎ 优势
·研磨平台由伺服驱动,转速可调。
·研磨轮由伺服驱动,转速可调,且研磨进给力由气缸推动,压力可调。
·平台真空:吸附力可调,可有真空负压表数显显示。
·主要元器件均采用进口知名品牌。
◎ 规格