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晶圆清洗机
    发布时间: 2020-06-20 09:30    

.技术规格:

1.清洗功能:二流体清洗方式

2.清洗顺序:1.二流体清洗;2.甩干带氮气(可根据工艺用压缩空气代替)吹;

3.适应晶圆尺寸:8"及以下

4.通过更换台盘能适应标准8"框架(Frame

5.控制系统采用PLC、触摸屏

6.主轴转速设定范围:100r/min 3000r/min

7.时间设定范围:1s999s

8.设备真空度 -80KPA

9.额定电压:AC 220V

10.频率:50HZ

11.工作满载电流:15A

12.动力电源线:2.5²以上

13.DI水压力: 0.3Mpa

14.压缩空气压力:0.5~0.7Mpa

15.氮气的供给压力: 0.5Mpa

16.整机尺寸:400(W)x650(D)x 1140(H)mm

17.特殊配置:离子风棒(基恩士)