一.技术规格：

1.清洗功能：二流体清洗方式

2.清洗顺序：1.二流体清洗；2.甩干带氮气(可根据工艺用压缩空气代替)吹；

3.适应晶圆尺寸：8"及以下

4.通过更换台盘能适应标准8"框架（Frame）

5.控制系统采用PLC、触摸屏

6.主轴转速设定范围：100r/min～ 3000r/min

7.时间设定范围：1s～999s秒

8.设备真空度 ＞-80KPA

9.额定电压：AC 220V

10.频率：50HZ

11.工作满载电流:15A

12.动力电源线：2.5²以上

13.DI水压力：≥ 0.3Mpa

14.压缩空气压力：0.5~0.7Mpa

15.氮气的供给压力：≥ 0.5Mpa

16.整机尺寸：400(W)x650(D)x 1140(H)mm

17.特殊配置：离子风棒（基恩士）