二氧化碳发泡机又称超纯水抗静电装置、超纯水电阻率调节装置，是半导体切割工序的必备设备；在半导体行业生产中，使用超纯水有助于提高产品良品率，但是超纯水具有很高的电阻率，因此也容易在产品表面产生静电，对产品造成伤害。二氧化碳发泡机就是为了解决这一问题而研制，向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳来降低超纯水的电阻率，防止在划片和清洗制程中产生静电而损伤产品。 

特点：

Ø  机器结构紧凑、占地面积小；

Ø  安装方便、操作简单、性能稳定、故障率低；

Ø  有效防止静电破坏产品，提高良品率，降低企业生产成本；

Ø  超纯水电阻率可方便精准地设定在0.2-2MΩ•CM范围内；