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精密扩膜机(SE)
◎ 概要
该设备是手动上下料,自动扩膜,自动扣合子母环,适用于半导体晶粒扩张工艺。
◎ 优势
·扩膜平台由伺服电机驱动,速度可调。
·子母环扣合由气缸推动,压力可调。
·扩膜高度可在触摸屏里设定。
·平台加热温度可控。
·主要元器件均采用进口知名品牌。
◎ 规格