翻转扩膜机（SSE）

◎ 概要

该设备是手动上下料，自动扩膜，自动翻转，自动扣合子母环，适用于半导体晶粒扩张工艺。

◎ 优势

·扩膜平台由伺服电机驱动，速度可调。

·子母环扣合由气缸推动，压力可调。

·翻转扩膜可以实现硅渣的自由脱落。

·扩膜高度可在触摸屏里设定。

·平台加热温度可控。

·主要元器件均采用进口知名品牌。

◎ 规格