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SSE-100 翻转/倒置型扩膜机
    发布时间: 2017-08-08 16:09    

翻转扩膜机(SSE

◎ 概要

该设备是手动上下料,自动扩膜,自动翻转,自动扣合子母环,适用于半导体晶粒扩张工艺。

◎ 优势

·扩膜平台由伺服电机驱动,速度可调。

·子母环扣合由气缸推动,压力可调。

·翻转扩膜可以实现硅渣的自由脱落。

·扩膜高度可在触摸屏里设定。

·平台加热温度可控。

·主要元器件均采用进口知名品牌。

◎ 规格